功能介紹
1. 非接觸式,晶圓盤預定位;
2. 兼容4至12寸,兼容直邊和Notch,兼容不透明和霧化半透明晶圓盤;
3. 擁有定中心和找Mark標志兩個功能。
4. 主要運用于晶圓傳片機、倒片機、打標機、讀碼機等內部晶圓預定位;
規格參數